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牺牲层腐蚀技术在微悬臂梁器件制作中的应用
牺牲层腐蚀技术在微悬臂梁器件制作中的应用
来源 :科学技术与工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:bb790858108
【摘 要】
:
以微悬臂梁的制造工艺为例,探讨了MEMS中的牺牲层腐蚀技术,对牺牲层材料的制备方法和腐蚀牺牲层材料得到微悬臂梁结构等工艺中的关键与核心技术作了详细阐述,从腐蚀机理的角度探
【作 者】
:
赵翔
梁明富
【机 构】
:
扬州市职业大学
【出 处】
:
科学技术与工程
【发表日期】
:
2009年14期
【关键词】
:
MEMS
微悬臂梁
牺牲层腐蚀
腐蚀速率
microelectro-mechanical system micro-cantilever beam sacrif
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以微悬臂梁的制造工艺为例,探讨了MEMS中的牺牲层腐蚀技术,对牺牲层材料的制备方法和腐蚀牺牲层材料得到微悬臂梁结构等工艺中的关键与核心技术作了详细阐述,从腐蚀机理的角度探讨了腐蚀速率及其影响因素。
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