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X射线技术在薄膜分析中具有重要作用。小角度X射线反射率检测是不透明材料、金属薄膜和多层结构的唯一非破坏性分析方法。但是,一般的薄膜分析X射线系统均为非在线测量,即只能在薄膜淀积工艺完成之后才进行测量。
在线X射线反射率监测系统
【摘 要】
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X射线技术在薄膜分析中具有重要作用。小角度X射线反射率检测是不透明材料、金属薄膜和多层结构的唯一非破坏性分析方法。但是,一般的薄膜分析X射线系统均为非在线测量,即只能在薄膜淀积工艺完成之后才进行测量。
【出 处】
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世界产品与技术
【发表日期】
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2000年01期
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