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在固定床反应器中研究了乙醇脱水反应中亚微米ZSM-5分子筛催化剂上乙醇、乙醚和乙烯的反应及积碳行为，采用TG、低温氮气吸附-脱附、吡啶吸附红外光谱和^13C NMR等方法对催化剂进行了表征，以考察分子筛催化剂的积碳行为及乙醇脱水反应机理。实验结果表明，乙醚是乙醇脱水生成乙烯的中间体，而乙烯低聚是积碳的主要来源；积碳的主要组成可能是烷基芳烃，而积碳速率与反应混合物中的烯烃含量及水含量有关，ZSM-5分子筛催化剂上各物质积碳速率由快到慢的顺序：乙烯〉乙烯＋水〉乙醚〉乙醇；在线反腹100h后，积碳堵塞了70％以