一种求芯片内互连线分布电容的方法

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为求取芯片内互连线分布电容,将其等效为三维拉普拉斯方程的求解.采用有限差分法解方程,并利用截断边界条件截断无穷边界以减小计算量.实例表明,该方法是可行的,且计算效率得到了提高.
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