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原子聚集形成原子团,原子团进一步聚集长大形成表面层,是固体膜在基底上生长的一般过程.而做为生长初始阶段的原子单体和原子团的形态,对成膜的最终形态有着重要的决定作用,因此一直为人们所重视.但是由于传统分析手段的局限使得这方面的研究存在许多重要的问题需要解答.STM(Scanning Tunneling Microscopy扫描隧道显微镜)由于能在表面的特定位置给出表面原子级分辨的形貌象,而不必象传统的衍射方法通过宏观的平均效果来反推表面结构信息,所以它特别适合于薄膜生长过程中未成膜前初始阶段的表面形态研究.