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期刊论文
计算机数控应力盘面形研究
计算机数控应力盘面形研究
来源 :光电工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:marriamirror
【摘 要】
:
简要讨论了计算机控制应力盘抛光大口径高陡度非球面的基本原理,用Zernike多项式拟合的数学方法研究应力盘工作过程中的面形动态变化,对这一方法所能达到的精度进行了分析,给出了计算结
【作 者】
:
谌桂萍
杨力
【机 构】
:
中国科学院光电技术研究所
【出 处】
:
光电工程
【发表日期】
:
2000年3期
【关键词】
:
应力盘
非球面加工
计算机控制
象差
Stressed lap
Aspheric processing
Computer control
Aberration.
【基金项目】
:
中国科学院重点课题
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简要讨论了计算机控制应力盘抛光大口径高陡度非球面的基本原理,用Zernike多项式拟合的数学方法研究应力盘工作过程中的面形动态变化,对这一方法所能达到的精度进行了分析,给出了计算结果。
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