【摘 要】
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采用热丝化学气相沉积（HFCVD）方法在Mo基体上沉积金刚石薄膜,使用扫描电镜（SEM）和X射线衍射（XRD）对薄膜样品进行分析检测,研究了表面形核密度随碳源浓度的变化。结果表明：随着碳源浓
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采用热丝化学气相沉积（HFCVD）方法在Mo基体上沉积金刚石薄膜,使用扫描电镜（SEM）和X射线衍射（XRD）对薄膜样品进行分析检测,研究了表面形核密度随碳源浓度的变化。结果表明：随着碳源浓度增加表面形核密度增大,当碳源浓度达到3%时,表面形核密度质量最佳,当浓度进一步增大时,形核密度下降;随着碳源浓度增加,生长加快,当生长过快时影响形核过程,形核密度下降。
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