【摘 要】
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提出了一种采用石英力敏谐振器（QFSR）—石英热敏谐振器（QTSR）的单片式压电谐振型石英压力—温度传感器（QPTS）,设计了单片式QPTS结构、石英压力传感器的无应力封接方案以及新型压力
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十九研究所
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提出了一种采用石英力敏谐振器（QFSR）—石英热敏谐振器（QTSR）的单片式压电谐振型石英压力—温度传感器（QPTS）,设计了单片式QPTS结构、石英压力传感器的无应力封接方案以及新型压力—伸缩力变换器。单片式QPTS由QFSR和QTSR构成,均采用AT切型,厚度切变模式工作,不同的是QTSR的长边取向与石英X轴的夹角为60°。无应力封接方案使用石英、单晶硅、非晶态SiC、硼硅酸盐玻璃和柯伐合金的组合,并且利用石英化学刻蚀和物理修饰技术以及半导体的新工艺使QFSR和QTSR改性。其中,非晶态Si
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