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本文介绍通过电荷耦合器件（ＣＣＤ）和计算机图像处理技术实现对轮廓的自动瞄准和对小尺寸试件直接测量。该技术对直线轮廓的瞄准精度达到０．２５μｍ；对刻线的瞄准精度达到０．０６９μｍ。
多功能图像法轮廓自动瞄准技术的研究
【摘 要】
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本文介绍通过电荷耦合器件（ＣＣＤ）和计算机图像处理技术实现对轮廓的自动瞄准和对小尺寸试件直接测量。该技术对直线轮廓的瞄准精度达到０．２５μｍ；对刻线的瞄准精度达到０．０６９μｍ。
【机 构】
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哈尔滨工业大学
【出 处】
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计量技术
【发表日期】
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2000年10期
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