【摘 要】
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压电陶瓷(PZT)驱动电源是微位移器应用中的关键部件,针对PZT的容性负载特性,本文采用高压高带宽的MOSFET功放管和集成运放设计并实现了一种高压快速驱动电源的设计方案,配合
【机 构】
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北京信息科技大学光电测试技术北京市重点实验室
【基金项目】
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北京市教育委员会科技计划面上项目(KM201411232005);光电测试技术北京市重点实验室开放课题(GDKF2013002)
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压电陶瓷(PZT)驱动电源是微位移器应用中的关键部件,针对PZT的容性负载特性,本文采用高压高带宽的MOSFET功放管和集成运放设计并实现了一种高压快速驱动电源的设计方案,配合相位补偿网络和保护电路,改进了PA78驱动容性负载电路的稳定性。实验表明,该PZT驱动电源带宽可达60 k Hz,输出电压范围是-100~100 V,具有好的动态性能-从0-50 V所用时间为7μs,最大非线性相对误差为0.52%,且能长时间稳定工作,解决了PZT驱动电路中的不能长期稳定工作的问题。
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