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用改进的溶胶-凝胶旋转涂覆技术,在Pt/Ti/SIO/Si基片上研制出1-2μm厚,具有钙钛矿型结构的PbTiO、PLT和PZT铅基铁电薄膜.该类铁电薄膜具有良好的结晶特性、优异的介电和热释电性能.
铅基钙钛矿型结构铁电薄膜的介电及热释电性能研究
【摘 要】
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用改进的溶胶-凝胶旋转涂覆技术,在Pt/Ti/SIO/Si基片上研制出1-2μm厚,具有钙钛矿型结构的PbTiO、PLT和PZT铅基铁电薄膜.该类铁电薄膜具有良好的结晶特性、优异的介电和热释
【机 构】
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华中理工大学电子科学与技术系
【出 处】
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功能材料
【发表日期】
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2004年期
【基金项目】
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国家高技术研究发展计划(863计划);
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