【摘 要】
:
本文介绍了用测试结构做的Al-Si(1%)互连线的电迁移加速寿命试验。加速温度为175℃,电流密度为1-3×106A/cm2。观察到线条的不同几何因素(长、宽、厚),不同的溅射工艺和钝化层,以及氧化层台阶都对电迁移寿
论文部分内容阅读
本文介绍了用测试结构做的Al-Si(1%)互连线的电迁移加速寿命试验。加速温度为175℃,电流密度为1-3×106A/cm2。观察到线条的不同几何因素(长、宽、厚),不同的溅射工艺和钝化层,以及氧化层台阶都对电迁移寿命有显著的影响。对实验结果作了初步的分析和讨论。
This article describes the electromigration accelerated life test of Al-Si (1%) interconnects made with test structures. The acceleration temperature was 175 ° C and the current density was 1-3 × 10 6 A / cm 2. Different geometric factors (length, width, thickness) of the lines, different sputtering processes and passivation layers, and oxide steps were observed to have a significant effect on the electromigration lifetime. The experimental results made a preliminary analysis and discussion.
其他文献
山东冠县毛白杨林场地处鲁西平原的黄河故道。地理坐标为东经115°27′,北纬36°29′。全场呈一狭长的窄带状,由西南至东北长约8公里,平均宽约0.5公里,总面积389公顷。该场
1青海绿色食品的发展和品牌现状随着农产品质量安全重视力度的日益提高和在“绿色”浪潮的推动下,位居“世界第三极”的青海省凭借独特的气候优势、环境优势、地域优势和资源
介绍了PtSi/p-Si肖特基势垒红外探测器(简称IR-SBD)的优化结构及探测机理,给出了探测器的光增益模型,并对器件进行了制作及性能测试。器件在77K下,反偏4V时的反向漏电流为5×10(-6)μA,对1.52μm红外光的灵敏度为2.69×10(-2)A/W,量
近年来,宁德市蕉城区蕉南街道坚持把廉政文化建设融入文明和谐社区创建之中,以“崇尚道德、廉洁文明”为主题,积极发挥社区文化场所和文化设施的作用,充分调动社区群众文艺队
运用飞行时间质谱研究了B/KNO3点火药的激光点火过程,探讨了其反应机理.
The laser ignition process of B / KNO3 ignition powder was studied by using time of flight mass spec
住房和城乡建设部(简称“住建部”)发布第12号公告,批准《给水排水用软密封闸阀》为城镇建设行业产品标准,编号为CJ/T 216-2013,自2013年10月1日起实施。原《给水排水用软密
传主小档案:历任河南柴油机厂团委副书记,洛阳团市委副书记,洛阳市外经贸局副局长,洛阳市投资促进局局长;现任洛阳市商务局局长,党组书记。经费1987年,曾丹梅出任河南柴油机
1985年3月,根据水利部和珠委的决定,由珠委的勘测总队、规划处和设计处等三个单位合并,成立了珠江水利委员会勘测设计研究院。近12年来,在党中央的各项路线、方针、政策和邓
用法国Beaufils的综合诊断法[Di-agnose and Recom mendation Inte—grated System(DRIS)]通过对杂交杨无性系Ⅰ—45/51的叶片分析,诊断养份的平衡。对试验田进行施肥处理,用
目的建立采用商品化的发光细菌(青海弧菌)检测PM2.5颗粒物综合生物毒性的方法。方法 2014年9月-2015年8月,在上海市浦东新区某采样点用大流量采样器和石英滤膜采集大气PM2.5