【摘 要】
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一、核技术在信息、微电子学、半导体材料、材料改性等方面应用广泛射线束加工是注入离子束或中子束于材料的表面以改变固体表面层的性质,用12MeV电子加速器对硅整流器件(可
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一、核技术在信息、微电子学、半导体材料、材料改性等方面应用广泛射线束加工是注入离子束或中子束于材料的表面以改变固体表面层的性质,用12MeV电子加速器对硅整流器件(可控硅)的辐射改性已经得到了广泛的应用;用金属离子源(MEVA)注入到材料表面,增强材料表面的力学强度和耐摩擦性等已广泛地应用于刀具加工、汽车工业与航空航天工业;在核反应堆上运用中子嬗变掺杂(NTD)制造的N型高阻硅,均匀性好,成品率高,适宜制备优质高阻材料.
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