用于硅谐振压力传感器的自适应闭环反馈控制系统及方法

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<正>申请号:202210637646.5【申请日】2022.06.08【公开号】CN114726363A【公开日】2022.07.08【分类号】H03L3/00;H03L1/02【申请人】成都凯天电子股份有限公司【发明人】胡宗达;梁应剑;张林;张坤;赵鑫;李明兴【摘要】本发明公开了一种用于硅谐振压力传感器的自适应闭环反馈控制系统及方法,属于MEMS压力传感器技术领域。
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