半导体激光器失效分析方法与失效机理研究

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使用红外热像仪、微光显微镜(EMMI)、聚焦离子束(FIB)、高分辨率透射电子显微镜(HRTEM)和能量色散X射线能谱仪(EDS)等技术手段对在长期老化过程中发生COD的激光器样品进行了失效分析,总结出相应的长期老化失效机理。
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