【摘 要】
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二硒化铼(ReSe2)因具有较好的红外光响应和各向异性特性而成为近年来的研究热点.采用盐辅助化学气相沉积技术,在SiO2/Si衬底上成功合成了大面积的单层ReSe2薄膜,其尺寸达到80
【机 构】
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江南大学物联网工程学院电子工程系,江苏无锡214122
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二硒化铼(ReSe2)因具有较好的红外光响应和各向异性特性而成为近年来的研究热点.采用盐辅助化学气相沉积技术,在SiO2/Si衬底上成功合成了大面积的单层ReSe2薄膜,其尺寸达到80μm.采用拉曼光谱(Raman)、光致发光光谱(PL)、原子力显微镜(AFM)和X射线光电子能谱(XPS)等手段对制备的ReSe2薄膜样品进行了形貌、光谱、厚度和元素成分的表征,结果表明所制备的ReSe2薄膜晶体质量高.基于单层ReSe2薄膜构筑了场效应晶体管,系统研究了其光电特性,结果显示器件的响应时间达毫秒级.
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