【摘 要】
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<正> 在高温下,准确、可靠地检测工件的位置一直是一个难以解决的问题,特别是在一些无线电专用设备上更是如此。我们在研制半自动蕊片粘结机时,要求能准确、可靠地检测高温管
【机 构】
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机电部第十四所微电子应用技术研究室工程师210013南京1316信箱41分箱
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<正> 在高温下,准确、可靠地检测工件的位置一直是一个难以解决的问题,特别是在一些无线电专用设备上更是如此。我们在研制半自动蕊片粘结机时,要求能准确、可靠地检测高温管座的位置,管座温度为400～500℃之间,定位精度为0.5mm。由于工艺需要,管座是放在充满保护气氛的隧道炉中,炉温为500～600℃之间,为了满足上述要求,我们研制了一种微压气动传感器,现介绍如下。 1 工作原理
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