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<正>传输系统一般用于供应研磨液,这种研磨液用于在生产半导体芯片过程中的平整晶圆的工序。这种系统通过对研磨液加压使之得以传输到使用设备上去,并使研磨液不断循环以使得颗粒保持悬浮状态。有多种
在三种泵体系中研磨液颗粒尺寸分布对过滤器使用寿命的影响
【摘 要】
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<正>传输系统一般用于供应研磨液,这种研磨液用于在生产半导体芯片过程中的平整晶圆的工序。这种系统通过对研磨液加压使之得以传输到使用设备上去,并使研磨液不断循环以使得
【机 构】
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CT Associates Inc.,Levitronix GmbH,
【出 处】
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集成电路应用
【发表日期】
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2007年08期
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