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给出λ=100—150nm波段的MgF2/LiF,LiF/Al,MgF2/Al高反射率周期结构和连续结构多层反射镜的层厚在数值上的最佳化。表明了其反射率可达90—99.9％。
100—150nm波段高反射率多层反射镜的最佳化
【摘 要】
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给出λ=100—150nm波段的MgF2/LiF,LiF/Al,MgF2/Al高反射率周期结构和连续结构多层反射镜的层厚在数值上的最佳化。表明了其反射率可达90—99.9％。
【出 处】
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光机电世界
【发表日期】
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1994年5期
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