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基于图像技术的微位移检测方法及其应用
基于图像技术的微位移检测方法及其应用
来源 :传感技术学报 | 被引量 : 10次 | 上传用户:catherine00800
【摘 要】
:
为提高刚度测量中位移检测的精度,提出一种图像式微位移检测方法。该方法采用边界拟合和“路径匹配”技术,使位移量的检测精度达到了亚微米级。此微位移检测方法已用于弹性元件刚度测量仪中,并采用激光干涉仪进行标定。实验结果表明,微位移检测方法稳定性好,速度快且获得了优于0.1μm的精度。
【作 者】
:
刘伟文
赵辉
【机 构】
:
上海交通大学信息检测技术及仪器系
【出 处】
:
传感技术学报
【发表日期】
:
2005年02期
【关键词】
:
图像
微位移
路径匹配
边缘检测
image
microscopic displacement
path matching
edge detection
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为提高刚度测量中位移检测的精度,提出一种图像式微位移检测方法。该方法采用边界拟合和“路径匹配”技术,使位移量的检测精度达到了亚微米级。此微位移检测方法已用于弹性元件刚度测量仪中,并采用激光干涉仪进行标定。实验结果表明,微位移检测方法稳定性好,速度快且获得了优于0.1μm的精度。
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