基于压电陶瓷驱动的快刀伺服系统的研制

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设计了一款基于压电陶瓷驱动、利用柔性铰链铰接的微结构加工快刀伺服系统.用理论计算和有限元分析软件对柔性铰链进行了优化和分析,并进行了实际加工和测试.测试结果表明该系统能达到最大的加工行程为60 μm;并且在0~39 μm的加工行程范围内运动频响可达到150 Hz.
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