【摘 要】
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以一类静电驱动微结构谐振传感器为研究对象,基于安全域思想研究了系统直流偏置电压和交流激励电压幅值引起的结构吸合不稳定现象.运用Melnikov函数法得到引起微结构吸合不稳
【机 构】
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上海应用技术学院机械工程学院,上海工程技术大学城市轨道交通学院
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以一类静电驱动微结构谐振传感器为研究对象,基于安全域思想研究了系统直流偏置电压和交流激励电压幅值引起的结构吸合不稳定现象.运用Melnikov函数法得到引起微结构吸合不稳定的系统参数门槛值,且运用四阶Rung-Kutta方法和点映射方法数值地验证了交流电压幅值对系统的吸合区域的影响规律.结果表明,直流偏置电压的增大均易引起微结构的吸合效应,而交流电压幅值的增大则会导致微结构的吸合不稳定.通过实施时滞位移反馈控制来抑制系统的吸合不稳定,数值结果验证了该控制方法的有效性.所得结果在静电驱动微机电系统的设计领域
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