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从键合过程分析、硬件电路实现和动态补偿等方面简要介绍了一种基于动态补偿原理的超声波发生器。对于提高键合推拉力强度、改善键合工艺的一致性具有重要意义,保证了封装器件以及模块的可靠性。
基于动态补偿原理的超声波发生器研究
【摘 要】
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从键合过程分析、硬件电路实现和动态补偿等方面简要介绍了一种基于动态补偿原理的超声波发生器。对于提高键合推拉力强度、改善键合工艺的一致性具有重要意义,保证了封装器
【机 构】
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中国电子科技集团公司第二研究所
【出 处】
：
电子工业专用设备
【发表日期】
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2018年2期
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