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降低陶瓷材料表面电荷的积累一直是俄歇分析能否成功的应用该类材料必须解决的首要问题。通过实验认为：瓷材料试样减薄法可以用来降低表面电荷，采用这种方法，样品可分析区域大小仅依赖于电子束斑尺寸，因而，用Ｍｉｃｒｏｌａｂ３１０－Ｆ热场发射扫描作歇微探针分析仪能在几十纳米的微区内，获取结构信息和除氢氦外的化学成分信息，突破了陶瓷材料在低电压、低电流下约几十微米的分析范围，在此基础上，挑战了掺Ｄｙ的α－Ｓｉａ