电子束感生电流样品台

来源 :电子显微学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：ylg2008asp

【摘要】

：

我们曾对普通样品台进行了改造,使得电子束感生电流信号(EBIC)的观察简易可行,此方法有四个自由度移动样品,“R”旋钮起开关作用,p—n结的引线接于样品台上。本文在上述研究

【作者】

：

赵永生

【机构】

：

吉林大学分析测试中心长春

【出处】

：

电子显微学报

【发表日期】

：

1991年3期

【关键词】

：

电子显微镜电子流样品台改造

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我们曾对普通样品台进行了改造,使得电子束感生电流信号(EBIC)的观察简易可行,此方法有四个自由度移动样品,“R”旋钮起开关作用,p—n结的引线接于样品台上。本文在上述研究的基础上加以改进,提出一种实用的电子束感生电流样品台,它解决了前者EBIC信号引出方法的弊端,不需接引线,样品移动不受限制。更多还原

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