论文部分内容阅读
采用ZDH一100型号离子束复合沉积设备沉积WS2一Ti—Ag复合薄膜，基材为轴承钢和单晶硅（100）。采用场发射扫描电子显微镜、XRD衍射仪，检测复合薄膜的表面形貌、微观结构。采用球一盘式摩擦磨损试验机，对复合薄膜在大气环境中的摩擦性能进行了研究。结果表明：采用离子束辅助沉积技术制备的WS2一Ti—Ag复合薄膜是非晶态薄膜；并且随法向载荷的增加，复合薄膜的摩擦因数减小，摩擦状态越稳定，耐磨寿命越短。