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为验证稀土元素掺杂对YBa2Cu3O7-δ作为氧传感器气敏材料性能的影响,在A l2O3衬底上制备了3种不同稀土元素掺杂的YBa2Cu3O7-δ厚膜,然后对3种厚膜在不同气氛变换时电阻随时间的变化关系及其电学特性进行比较,发现3种厚膜的各组样品仍然表现出YBCO的基本性质,其中Y0.95La0.05Ba2Cu3O7-δ样品表现出较高的灵敏度和较短的恢复时间,是替代YBa2Cu3O7-δ作为氧传感器新的理想材料。