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在不同Xe气流量下测量了F-400/3500和F-250/1500分子泵对Xe气的抽速,指出分子泵对Xe气的抽速是其对N2抽速的0.6~0.8倍。这一折算系数和泵的型号有关,和泵口真空度也相关。
分子泵对Xe气抽速的测试
【摘 要】
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在不同Xe气流量下测量了F-400/3500和F-250/1500分子泵对Xe气的抽速,指出分子泵对Xe气的抽速是其对N2抽速的0.6~0.8倍。这一折算系数和泵的型号有关,和泵口真空度也相关。
【机 构】
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兰州物理研究所,兰州物理研究所,兰州物理研究所 甘肃兰州730000,甘肃兰州730000,甘肃兰州730000
【出 处】
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真空
【发表日期】
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2007年02期
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