二维光栅与周期性缝隙阵列组合薄膜结构的杂散光抑制

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传统方格型二维光栅与周期性缝隙阵列的组合薄膜结构具有雷达和光学波段双带通的电磁特性.但由于其杂散光能量集中分布而严重制约它在高精度探测以及成像领域中的应用.本文提出了一种全新的组合薄膜结构,即由满足一定约束条件的圆孔型二维光栅和十字缝隙阵列构成.基于Fraunhofer衍射理论建立组合薄膜结构标量衍射模型,通过对比两种组合薄膜结构的衍射光分布,理论分析与实验测试均表明:圆孔型光栅与十字缝隙阵列组合薄膜结构不仅能够提高其光学透过率,而且还使其杂散光分布均匀,降低了其杂散光总比率,从而有效抑制杂散光,进一步增强了二维光栅与周期性缝隙阵列组合薄膜结构在实际光学系统中的可靠性. The combination of a conventional two-dimensional lattice grid grating with a periodic slit array has the electromagnetic characteristics of a dual-band pass band of the radar and the optical band, but its stray light energy concentration seriously restricts its application in the field of high-precision detection and imaging In this paper, a novel composite thin film structure is proposed, which consists of a circular aperture type two-dimensional grating and a cross slit array that meet certain constraints. Based on the Fraunhofer diffraction theory, a scalar diffraction model of the composite thin film structure is established. By comparing the two kinds of combined thin film structures The theoretical analysis and experimental tests show that the combination of circular aperture grating and cross slit array can not only increase the optical transmittance, but also make the distribution of stray light uniform and reduce the total ratio of stray light. Thereby effectively suppressing stray light, and further enhancing the reliability of a combination of a two-dimensional grating and a periodic slit array in a real optical system.
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