MOCVD反应器的优化及其数学模型的建立

来源 :中国农机化 | 被引量 : 0次 | 上传用户：suntiger2009

【摘要】

：

金属有机化学气相沉积(MOCVD)是一门制备薄膜材料的关键技术.该技术所制备的薄膜材料主要应用于微电子及光电子领域,因此对材料的质量、厚度的均匀性要求非常严格.影响薄膜质

【作者】

：

陈燕王军锋罗惕乾

【机构】

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江苏大学能源与动力工程学院

【出处】

：

中国农机化

【发表日期】

：

2004年6期

【关键词】

：

金属有机化学气相沉积反应器优化数学模型流场温度场薄膜材料半导体 MOCVD reactor flux field temperature fiel

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金属有机化学气相沉积(MOCVD)是一门制备薄膜材料的关键技术.该技术所制备的薄膜材料主要应用于微电子及光电子领域,因此对材料的质量、厚度的均匀性要求非常严格.影响薄膜质量的关键因素之一是MOCVD反应器内部的流动和传热问题,而反应器的结构是影响流场的一个重要的因素.因此本文主要介绍了MOCVD反应器的结构及优化设计,描述了反应器内部数学模型及其边界条件,从而考察了反应器结构及操作工艺条件对薄膜生长均匀性的影响.

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