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期刊论文
二元光学元件制造初探
二元光学元件制造初探
来源 :科技风 | 被引量 : 0次 | 上传用户:boluoxj
【摘 要】
:
随着微细加工工艺和计算机技术的发展,二元光学元件的特征尺寸进一步减小.本文对dammann光栅的基础知识进行了一次介绍,并推导出了标量衍射效率,包括其解析式的通用方法,并详
【作 者】
:
朱永健
郑晖
【机 构】
:
装备指挥技术学院基础部大学生一队
【出 处】
:
科技风
【发表日期】
:
2009年11期
【关键词】
:
dammann光栅
制作工艺
光刻
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随着微细加工工艺和计算机技术的发展,二元光学元件的特征尺寸进一步减小.本文对dammann光栅的基础知识进行了一次介绍,并推导出了标量衍射效率,包括其解析式的通用方法,并详述了二元光学元件的常用制作工艺技术.
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