【摘 要】
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为了提高倒装芯片键合机的装片精度,采用多体系统建模理论对倒装芯片键合机运动误差进行研究.根据倒装芯片键合机的结构特点,运用多体系统理论对倒装芯片键合机的运动精度进
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为了提高倒装芯片键合机的装片精度,采用多体系统建模理论对倒装芯片键合机运动误差进行研究.根据倒装芯片键合机的结构特点,运用多体系统理论对倒装芯片键合机的运动精度进行全面、系统的分析,阐述了倒装芯片键合机拓扑结构及误差条件下相邻体及其变换矩阵,建立了倒装芯片键合机运动的空间误差模型.采用Agilent激光干涉仪对倒装芯片键合机的各单项运动误差进行检测,将检测结果代入误差模型进行计算分析,结果表明所建立的误差模型能有效预测倒装芯片键合机的装片误差,为倒装芯片键合机的误差补偿奠定了基础.
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