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给出了动态厚度效应特征时间的公式,灵敏度Sn与膜厚l的关系和存在最佳膜厚的特征,电导激活能随膜厚变化的特征.提出了发展气敏机理的扩散反应功能概念;提出了在纳米气敏晶粒中引入介观效应概念和修正Fermi统计的要求.
纳米金属氧化物气敏薄膜厚度效应的实验规律和理论
【摘 要】
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给出了动态厚度效应特征时间的公式,灵敏度Sn与膜厚l的关系和存在最佳膜厚的特征,电导激活能随膜厚变化的特征.提出了发展气敏机理的扩散反应功能概念;提出了在纳米气敏晶粒
【机 构】
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山东大学
【出 处】
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实验室研究与探索
【发表日期】
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2005年11期
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