【摘 要】
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本文采用研磨、超声波和化学方法处理单晶硅基片,观察了缺陷形成的形态,进行低压法合成金刚石多晶薄膜的实验研究,初步讨论了缺陷在金刚石成核结膜中的重要作用。
In this p
【机 构】
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上海交通大学,上海交通大学,上海交通大学,上海交通大学,上海交通大学
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本文采用研磨、超声波和化学方法处理单晶硅基片,观察了缺陷形成的形态,进行低压法合成金刚石多晶薄膜的实验研究,初步讨论了缺陷在金刚石成核结膜中的重要作用。
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