【摘 要】
：
对注Ｓｉ￣＋的ＧａＡｓ样品（注入能量１８０ｋｅＶ、剂量５×ｌ０￣（１２）～１０￣（１５）ｃｍ￣（－２）采用白光快速退火，测量其χ射线双晶衍射谱并结合背散射，Ｈａｌｌ测量结果，分析了注入引起的应变及掺杂机理。根据电学测量结果用迁移率理论计算了补偿比．结果
论文部分内容阅读
对注Ｓｉ￣＋的ＧａＡｓ样品（注入能量１８０ｋｅＶ、剂量５×ｌ０￣（１２）～１０￣（１５）ｃｍ￣（－２）采用白光快速退火，测量其χ射线双晶衍射谱并结合背散射，Ｈａｌｌ测量结果，分析了注入引起的应变及掺杂机理。根据电学测量结果用迁移率理论计算了补偿比．结果表明：ＧａＡｓ中Ｓｉ￣＋注入掺杂，在低剂量注入时，Ｓｉ的两性是影响激活率的主要原因；高剂量注入时，残留间隙Ｓｉ原子的存在是导致激活率低的主要因素。
The GaAs sample with Si ~ + implantation (180 keV at a dose of 5 × 10 ~ (12) ~ 10 ~ (15) cm ~ (-2)) was annealed by white light and its X-ray diffraction pattern was measured. , Hall measurement results, the strain induced by implantation and the doping mechanism were analyzed.According to the electrical measurement results, the compensation ratio was calculated by the mobility theory.The results show that the Si ~ + implanted doping in GaAs, Is the main reason that affects the activation rate. The existence of residual interstitial Si atoms is the main factor leading to the low activation rate at high dose injection.
其他文献
Confuciusornithids, lived from 120―125 million years ago, form a basal bird group and include the oldest birds with horny beaks. Here we describe Eoconfuciusor
【摘要】薪酬不仅包括直接的经济福利，还包括非物质的奖励；不仅被看作是劳动的报酬，还被看成是知识与技术要素的价值体现；不仅是生活资料的来源，还与人的尊严和体面有关。建立一种以人为本的薪酬激励机制，是企业激励机制的重要组成部分，它在决定工作满意感，激发员工工作热情，增强企业凝聚力等方面起着重要的作用。 【中图分类号】F273 【文献标识码】A 【文章编号】1672—5158（2012）10-01
请下载后查看，本文暂不支持在线获取查看简介。
Please download to view, this article does not support online access to view profile.
一、简易估计血氧的一管法缺氧的检查常用的有舒劳氏法测定血氧容量,血氧计(光电比色法)测定血氧饱和度,电极法测定血氧分压,但均需有一定的设备,且用起来不方便。今介绍作
目的研究山楝Aphanamixis polystachya茎皮的化学成分。方法采用硅胶柱色谱、Sephadex LH-20、ODS柱色谱及高效液相制备色谱等方法进行分离纯化,根据理化性质及波谱数据鉴定
通行能力预测是公路设施规划、设计与运营中的基础环节.本文基于埃及曼努菲亚省12条农村双车道路段数据,研究了公路线形等几何特征对通行能力的影响以及线形由切线变为平曲线
据估计世界弓形体感染率为25～50％左右,我国从50年代以来已从兔、猫、鼠及猪等动物分离到弓形虫。但我国人体病例的报道仍很少,现将我国人体弓形体病例和血清学调查情况作一简
上海第一医学院妇产科医院曾于1959年与上海市其他三个医院一起总结了自1957年1月到1959年4月,共二年零四个月的死胎与新生儿死亡病例,初步分析其死亡原因,并提出以下三个意
请下载后查看，本文暂不支持在线获取查看简介。
Please download to view, this article does not support online access to view profile.