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多晶硅薄膜太阳电池兼具单晶硅的高转换效率和多晶硅体电池的长寿命的特点，其制备工艺比非晶硅薄膜材料的制备工艺相对简化。文章介绍了多晶硅薄膜太阳电池材料制备工艺和材料性能；阐述了多晶硅薄膜太阳电池Si3N4膜的沉积和玻璃制绒等关键工艺；综述了玻璃衬底多晶硅薄膜太阳电池的发展现状。
玻璃衬底多晶硅薄膜太阳电池的制备
【摘 要】
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多晶硅薄膜太阳电池兼具单晶硅的高转换效率和多晶硅体电池的长寿命的特点，其制备工艺比非晶硅薄膜材料的制备工艺相对简化。文章介绍了多晶硅薄膜太阳电池材料制备工艺和材料
【机 构】
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云南师范大学太阳能研究所
【出 处】
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可再生能源
【发表日期】
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2008年5期
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