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SemDex型晶片厚度测量仪是一种半导体行业专用的晶片检验仪器，目前国家还没有检定规程或校准规范。本文给出了一种使用型号为LOGITECH非接触测厚仪对晶片厚度进行定标，然后使用定标的晶片校准晶片厚度测量仪的方法，并给出了测量不确定度的计算方法，使其可溯源至国家基准。
SemDex型晶片厚度测量仪的校准与不确定度评定
【摘 要】
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SemDex型晶片厚度测量仪是一种半导体行业专用的晶片检验仪器，目前国家还没有检定规程或校准规范。本文给出了一种使用型号为LOGITECH非接触测厚仪对晶片厚度进行定标，然后使用
【机 构】
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中国电子科技集团公司第十三研究所
【出 处】
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计测技术
【发表日期】
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2013年B11期
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