多晶硅还原尾气回收工艺的优化

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阐述了多晶硅还原尾气回收的主要工艺过程,并用Aspen大型过程模拟软件进行了模拟优化,在分析讨论干法回收工艺存在的主要问题的基础上,对现有工艺进行了优化改进。将作为吸收剂的氯硅烷在吸收塔的进料温度从-40℃降至-50℃,HCL解析塔塔顶气液相混合出料改为气相出料,同时增加解析塔换热器,减少了作为吸收剂的氯硅烷循环量,热量利用更加合理,能耗显著下降,大大降低了回收成本,同时回收氢气中杂质质量分数从11.14%减少至5.99%,降低了吸附塔操作负荷,提高了回收氢气品质,有利于多晶硅产品质量的稳定;同时将HCL
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