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强磁场增强反应离子腐蚀实验研究
强磁场增强反应离子腐蚀实验研究
来源 :半导体情报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:itbbs123
【摘 要】
:
介绍强磁场增强反应离子腐蚀实验的研究结果,其中包括不同材料的腐蚀速度与磁场的关系以及负载效应等。
【作 者】
:
袁明文
【机 构】
:
石家庄电子部第13研究所
【出 处】
:
半导体情报
【发表日期】
:
1996年1期
【关键词】
:
等离子体
腐蚀试验
磁场
Plasma
Etching
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介绍强磁场增强反应离子腐蚀实验的研究结果,其中包括不同材料的腐蚀速度与磁场的关系以及负载效应等。
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