【摘 要】
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多晶硅定向凝固铸锭炉的热场对于生长高质量的多晶硅极为重要。本文利用CGSim软件对多晶硅铸锭炉热场的底部边缘、侧边增加保温材料的改进并进行了数值模拟研究,与未改进的热
【机 构】
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江苏大学材料科学与工程学院,扬州光电产品检测中心
【基金项目】
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江苏检验检疫局科技计划项目:晶体硅光伏组件电致发光(EL)评价方法研究及基于机器视觉自动识别分析的电致发光(EL)测试系统的研制(2013KJ19),江苏大学第13批大学生科研立项(Y13A175)
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多晶硅定向凝固铸锭炉的热场对于生长高质量的多晶硅极为重要。本文利用CGSim软件对多晶硅铸锭炉热场的底部边缘、侧边增加保温材料的改进并进行了数值模拟研究,与未改进的热场进行了对比,分析了这些改进对温场、流场和固液生长界面的影响。模拟结果表明,热场改进后,等温线在坩埚底部边缘和侧边部位变得平缓,抑制了坩埚底部边缘的散热以及边缘横向晶的产生,熔体流动更加有利于杂质排出,多晶硅的定向凝固生长质量得到了提高。
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