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一种新型光纤传感器在精密产品加工中的应用研究
一种新型光纤传感器在精密产品加工中的应用研究
来源 :光学精密工程 | 被引量 : 3次 | 上传用户:longman1026
【摘 要】
:
利用所研制的新型反射式光纤传感器对精密产品加工中的小台阶、沟槽等进行了测试研究。测试系统充分发挥了激光光纤传感测量方法的突出优点 ,实现对精密产品的非接触、快速地检测。传感器的高度分辨力可达 0 .4 μm,定位精度可达± 2 μm。
【作 者】
:
曾毅
侯国章
【机 构】
:
哈尔滨工业大学机电工程学院,哈尔滨工业大学机电工程学院
【出 处】
:
光学精密工程
【发表日期】
:
2001年02期
【关键词】
:
光纤传感器
精密加工
激光
非接触检测
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利用所研制的新型反射式光纤传感器对精密产品加工中的小台阶、沟槽等进行了测试研究。测试系统充分发挥了激光光纤传感测量方法的突出优点 ,实现对精密产品的非接触、快速地检测。传感器的高度分辨力可达 0 .4 μm,定位精度可达± 2 μm。
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