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半导体专用设备数字制造浅谈
半导体专用设备数字制造浅谈
来源 :中国电子科学研究院学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yangfanyuanhang1020
【摘 要】
:
通过介绍目前半导体与集成电路生产设备的技术情况,分析了该行业的特点和面临的国外封锁和压力,并且从设备数字制造技术的应用背景以及目前起到的巨大作用,对我国该行业的数字技
【作 者】
:
杜海文
【机 构】
:
中国电子科技集团公司第2研究所
【出 处】
:
中国电子科学研究院学报
【发表日期】
:
2006年2期
【关键词】
:
半导体设备
数字化制造技术
规划
semiconductor facility
digital manufacture technology
layout
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通过介绍目前半导体与集成电路生产设备的技术情况,分析了该行业的特点和面临的国外封锁和压力,并且从设备数字制造技术的应用背景以及目前起到的巨大作用,对我国该行业的数字技术应用提出了看法。
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