汞灯辅助MOCVD SnO2薄层晶体的结构与透明导电性研究

来源 :功能材料 | 被引量 : 0次 | 上传用户：nickyhuang00

【摘要】

：

采用x—射线衍射(XRD)、高能电子衍射(RHEED)、扫描电子显微镜(SEM)和紫外可见吸收谱(UV)等技术研究了在汞灯(ML)辅助下进行有机金属化学气相沉积(MOCVD)所得本征及掺杂SnO_2

【作者】

：

罗文秀任鹏程

【机构】

：

青岛化工学院功能材料研究所,青岛化工学院功能材料研究所青岛,266042,青岛

【出处】

：

功能材料

【发表日期】

：

1993年2期

【关键词】

：

汞灯薄层晶体二氧化锡气相沉积 thin layer crystal stannic oxide metallorganic chemical vapor

【基金项目】

：

国家自然科学基金资助课题

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

采用x—射线衍射(XRD)、高能电子衍射(RHEED)、扫描电子显微镜(SEM)和紫外可见吸收谱(UV)等技术研究了在汞灯(ML)辅助下进行有机金属化学气相沉积(MOCVD)所得本征及掺杂SnO_2薄层晶体的结构和透明导电性。实验指出,采用汞灯辅助有机金属化学气相沉积(ML-MOCVD)SnO_2薄层晶体比无汞灯辅助的有机金属化学气相沉积(MOCVD)膜层生长速度快,结晶粒度大且其透明导电性能更好。本文对ML-MOCVD SnO_2薄层晶体的结晶粒度与生长温度的关系、掺杂对结晶取向的影响以及可见光透过率、

其他文献

设置防走错语音提示系统利弊分析

对海南核电#1、#2机组重要区域设置语音提示器的利弊进行分析,提出设置建议,为防止人员走错间隔提供保护手段,同时也提出了设置防走错语音提示系统后潜在的风险,意在引起相关

期刊

防走错语音提示系统利弊分析防范措施

提升品牌形象打造个性封面——以《现代临床医学》为例

封面是期刊装帧设计的重要环节。一个好的封面,不仅能让人赏心悦目、耳目一新,还能锦上添花,提升期刊的档次。笔者调查发现,医药卫生综合类期刊仍存在封面版式陈旧、老套、大

期刊

封面设计医药卫生综合期刊品牌

彩色显像管用销钉封接白线研究

EDAX分析表明，封接白线是销钉封接时玻璃沿销钉氧化膜的爬坡，是否产生封接白线受销钉氧化膜表层尖晶石的成份控制，R＞0．65时，产生封接白线。避免湿氮参与氧化膜形成过程使R＝0．4，则可消

期刊

封接白线销钉彩色显像管Sealing white linepincolourpicture tube

SrO—Y2O3—TiO2体系的相关系与电性质

测定了ＳｒＯ－Ｙ＿２Ｏ＿３－ＴｉＯ＿２体系（１２００℃）的相关系及其电性质，发现：本体系内有７个三相区，１５个二相区，７个单相区。本体系内无三元新相存在。且Ｓｒ＿２ＴｉＯ＿４和ＳｒＴｉＯ＿３存在有限二元固溶体。ＳｒＴｉＯ＿３、Ｓｒ＿３Ｔｉ＿２Ｏ＿７和Ｓｒ＿２ＴｉＯ＿４的介电常数ε＇颇大（＞１００）。添加某些元素以改性，可

期刊

相图电性SrO-YWO3-TiO2氧化物陶瓷Phase diagramelectrical propertiesSro-Y_2O_3-TiO_2

高速公路机电系统

高速公路机电系统是由天津市环路公路设施有限责任公司承办的工程项目。该系统包括以下三个组成部分：

期刊

高速公路机电系统有限责任公司工程项目公路设施组成部分天津市

中加枫华国际学校

ue＊M＃’＃dkB4＃＃8＃”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:（100084川C京市海淀区清华园申请人:清华大学发明人:隋森芳文摘:本发明属于生物技

期刊

国际学校高中课程完全同步加拿大不列颠哥伦比亚

钛酸铅超微粒子的铁电相变研究

采用Ｌａｎｄａｕ－Ｇｉｎｓｂｕｒｇ－Ｄｅｖｏｎｓｈｉｒｅ的热力学弹性自由能公式，结合钛酸铅超微粒子的表面能，分析研究了钛酸铅超微粒子的粒径大小与铁电－顺电相变温度（Ｔｃ）和自发极化强度（Ｐｎ）的关系，理论分析与实验结果能很好的吻合。