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基于差动光程差倍增法将微小位移转化为多倍光程差,通过电桥光电转换电路,得到干涉条纹数的变化.采用差动干涉方法,提高了光程改变量与位移量的比例,使微小位移的测量精度提高到亚微米量级.
差动光程差倍增法测量微小位移
【摘 要】
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基于差动光程差倍增法将微小位移转化为多倍光程差,通过电桥光电转换电路,得到干涉条纹数的变化.采用差动干涉方法,提高了光程改变量与位移量的比例,使微小位移的测量精度提
【机 构】
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华南理工大学理学院
【出 处】
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物理实验
【发表日期】
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2009年6期
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