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目的：评定尘埃粒子计数器测量洁净室中悬浮粒子结果的不确定度。方法：建立测量过程中的数学模型，对过程中的误差进行辨别，分析测量过程中的不确定度。结果：粒径≥0．5μm的粒子其测定结果的相对扩展不确定度为0．4799；粒径≥5μm的粒子其测定结果的相对扩展不确定度为0．4804。
洁净室（区）中悬浮粒子检测结果不确定度评定
【摘 要】
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目的：评定尘埃粒子计数器测量洁净室中悬浮粒子结果的不确定度。方法：建立测量过程中的数学模型，对过程中的误差进行辨别，分析测量过程中的不确定度。结果：粒径≥0．5μm的粒子其测
【机 构】
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广东省保化检测中心有限公司
【出 处】
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广东科技
【发表日期】
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2009年18期
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