【摘 要】
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为实现高密度硬盘驱动器磁头的精确定位,设计和制作了一种与不锈钢基体粘结的压电薄膜微致动器。该致动器中的锆钛酸铅多层膜元件采用溶胶凝胶技术制作而成。对该致动器进行
【机 构】
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清华大学精密仪器与机械学系摩擦学国家重点实验室,清华大学精密仪器与机械学系摩擦学国家重点实验室,中国科学院声学研究所,清华大学精密仪器与机械学系摩擦学国家重点实验室 北京100084北京理工大学机械与
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为实现高密度硬盘驱动器磁头的精确定位,设计和制作了一种与不锈钢基体粘结的压电薄膜微致动器。该致动器中的锆钛酸铅多层膜元件采用溶胶凝胶技术制作而成。对该致动器进行了实验测试和有限元分析。结果表明:当采用双层膜结构时,压电微致动器的位移/驱动电压灵敏度和谐振频率分别达到了1.396μm/±20V和15.13kHz;有限元仿真结果与实测结果基本吻合。
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