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采用离子注入方法在氢化物气相外延法生长的AlN薄膜中注入了不同剂量的Dy^3+和Eu^3+,制备了Dy^3+单掺、Dy^3+和Eu^3+共掺的AlN样品.对于Dy^3+单掺杂AlN样品,X射线衍射和拉曼散射实验结果表明随着Dy注入剂量的增加,样品的压应力也增加,形成了比较明显的损伤层;但当注入剂量由5×1014at/cm2增加至1×10^15at/cm2时,压应力增加不明显,接近于饱和.对于Dy^3+和Eu^3+共掺的AlN样品,阴极荧光实验表明,AlN中Eu^3+和Dy^3+之间可能