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用大功率(kW级)CO_2激光在金属基材上通过化学气相沉积获得α-Si_3N_4膜。膜层多为细小的Si_3N_4颗粒组成,与基材有良好的结合,具有超硬和优良的耐磨抗蚀等性能,厚度在5—30μm范围内可控。
大功率CO2激光沉积超硬Si3N4膜的性能和组织
【摘 要】
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用大功率(kW级)CO_2激光在金属基材上通过化学气相沉积获得α-Si_3N_4膜。膜层多为细小的Si_3N_4颗粒组成,与基材有良好的结合,具有超硬和优良的耐磨抗蚀等性能,厚度在5—30
【机 构】
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中国科学院金属研究所,中国科学院金属研究所副研究员,沈阳（110015）
【出 处】
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金属学报
【发表日期】
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1992年8期
【基金项目】
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国家自然科学基金
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