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期刊论文
铌酸锂CMP速率的影响因素分析
铌酸锂CMP速率的影响因素分析
来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zhaomohans
【摘 要】
:
对铌酸锂晶片平整化加工的CMP机理进行了分析,加速质量传输是CMP获得完美表面的关键,化学反应是CMP过程的控制因素,增强化学反应可提高CMP速率.通过对不同抛光液的pH值、磨料
【作 者】
:
檀柏梅
牛新环
韩丽丽
刘玉岭
崔春翔
【机 构】
:
河北工业大学
【出 处】
:
半导体学报
【发表日期】
:
2007年z1期
【关键词】
:
铌酸锂
CMP
去除速率
抛光液
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对铌酸锂晶片平整化加工的CMP机理进行了分析,加速质量传输是CMP获得完美表面的关键,化学反应是CMP过程的控制因素,增强化学反应可提高CMP速率.通过对不同抛光液的pH值、磨料浓度及抛光压力、流量等的实验研究,分析讨论了各因素对CMP速率的影响机制,并得出优化的CMP方案.
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