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基于原子力显微镜与精密的气浮轴系，建立了靶丸表面形貌检测系统。对该系统的各项性能指标进行了评定，研究结果表明，系统的随机噪声误差在10nm量级，轴系的回转精度误差功率谱振幅在10^-2量级，与微球轮廓功率谱幅度相差两个量级以上，系统的稳定性较好，波长为几百纳米以上的局部颗粒能够被精确分辨。
ICF靶丸表面形貌检测系统性能分析
【摘 要】
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基于原子力显微镜与精密的气浮轴系，建立了靶丸表面形貌检测系统。对该系统的各项性能指标进行了评定，研究结果表明，系统的随机噪声误差在10nm量级，轴系的回转精度误差功率谱振幅
【机 构】
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中国工程物理研究院激光聚变研究中心
【出 处】
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光学仪器
【发表日期】
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2009年4期
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